连城数控三代半碳化硅合成炉技术鉴定达到国际领先水平
时间:2023-04-14 10:29:08
来源:CBC金属网
4月10日,中国有色金属工业协会在连城凯克斯科技有限公司组织专家组对其开发的“碳化硅立式感应合成炉”科技成果进行评价。
连城数控半导体晶体事业部团队融合了在半导体领域的先进技术优势,深耕碳化硅粉料合成技术的研发,开发了目前业内最大的碳化硅粉料合成炉,粉体纯度达到国内一流水平。其团队研发的大尺寸合成炉及其热场,能精确控制轴向温度梯度和径向温度的均匀性,解决了传统的碳化硅粉体合成炉装载量少,得率低等问题,使得反应更加充分,解决了工艺稳定性问题。
同时,其设计的独特的坩埚及涂层,减少了坩埚杂质的污染,提升了坩埚的寿命,提高了碳化硅粉体的纯度,通过工艺优化,可以同时兼容合成导电性和半绝缘碳化硅粉体。
专家一致认为该碳化硅粉料合成设备提升了碳化硅合成粉料的品质,提高了单次合成的重量,降低了单位能耗,减少了制造成本。促进了我国碳化硅高端装备的升级换代。该项目拥有自主知识产权。申报专利十余项。整体技术达到国际领先水平。
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