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和远气体:一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置取得发明专利

时间:2023-05-08 08:55:41

来源:CBC金属网

2023年5月8日讯:近日,和远气体公司表示,公司取得了1项发明专利,为一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置。

本发明专利“一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置”是一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置。该装置系统保障了单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气的质量。本发明专利的取得,不会对公司的生产经营和经营业绩产生重大影响,但有利于保障公司供气质量稳定。

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